压阻式传感器原理_压阻式传感器的应用
时间: 2020-08-11 15:52 浏览次数: 当前栏目:公司新闻编辑:中山手机棋牌游戏
压阻式传感器つ原理压阻式传感器piezoresistance▁#ふtype▍▎transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,¢通

  压阻式传感器つ 原理

  压阻式传感器piezoresistance ▁#ふtype ▍▎transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,¢通过测量电路就可得到正比于力变化的电★信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、ゅ压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控た制。ぃ

  压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应卐在半导体材料的基有片上经扩散电阻而制成的器件。其基Φ片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片∮内接成电桥形式。当基片受ぉ到外力作用而产生形变时,各电と阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。 用棋牌游戏平台作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感 材わ料而制成▊的硅△压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式ず传感器应用┝最为普遍。♂

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  压☆阻式传感器的应用

  压阻式传感器广泛地ぢ 应用于航お天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气¤象、地质、地震测量等各个领域。在航天和航空工业中压力是一个关键参数,对¥静态和动态压力,局部压力和整个压力场的え测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面だ的较理想的传感器。例如,用于や测量直升飞机机翼的气流压力分布◇ ,测试发动机进气口的动态畸变手机棋牌游戏÷、叶栅的脉动压力和机し翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中,使用专门设计的硅压力传┽感器,其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05卍%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试◆验中,压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发z动机进▅气管道模型中。

  单个传ほ感器直径仅2.36毫米,固有频率高达300€

£千赫↑,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是▄ 理想的┰检测工具。已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针♀型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内★、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还△有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压▓力、发射冲击波等兵器方面的测量。℉此外,在油井ぅ压り力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。㊣随着微电子技术和计算机的进一步发展,压阻式传感器牛牛游戏的应せ用还将迅速发展。

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