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　　压阻式传感器的结构

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　　这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上，制成硅压阻芯片，并将此芯片的周边固定封装く于外壳之内，引出电极引线◣。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。?

　　硅膜片的一面是与被测压力连ぇ通的高压腔，另一面┝是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的□圆形，直径与厚度比约为20～60。在圆形硅膜片定域扩散4条P杂质电阻条，并接成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处ど于拉应力区，相对于膜片中心对称。▍▎

　　此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。き 硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条，两▊条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥じ。?压阻式传感み器是根据半导体材料ぬ的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。

　　其基片可直接だ作为测量传感元件，扩散电阻在基片内接成电桥そ形式。?

　　当基片受到外力作用而产生形つ变时，各电阻值将发生变化，电桥就会产生相应的不平衡输出。?用作压阻式传感器的基片（或称膜片）材料ぴ主要为硅片和锗片，硅片为る敏感?材料而制成的硅压阻传┞感器越来越受到人们的重视，尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用最为普遍。?

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